Az etilén-oxiddal (EtO) végzett sterilizálást főként olyan orvosi és gyógyszerészeti termékek sterilizálására használják, amelyek nem támogatják a hagyományos, magas hőmérsékletű gőzsterilizálást – például elektronikus alkatrészeket, műanyag csomagolást vagy műanyag tartályokat tartalmazó eszközöket.
Az EtO gáz beszivárog a csomagokba és magukba a termékekbe, hogy elpusztítsa a gyártási vagy csomagolási folyamatok során visszamaradt mikroorganizmusokat.Ez a gáz levegővel legalább 3% EtO gáz arányban keverve robbanásveszélyes keveréket képez.A tiszta EtO gáz forráspontja 10,73 ºC atmoszférikus nyomáson.Legtöbbször nitrogénnel vagy CO2-vel keveredik.Ez a robbanásveszélyes állapot gyújtószikramentes anyag (ATEX) zónát igényel, az emberek biztonsága, valamint magának a folyamatnak a biztonsága érdekében.
